精密切割设备
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精密切割设备发展历程

2020-03-10 15:24:53

多线切割机作为全新概念的新型切割设备,从20世纪60年代提出多线切割的概念到今天趋于完善已经经历了四十多年。限于当时技术水平和控制理念要用多线切割付诸于世的确会有相当大的难度,20世纪80年代中期世界上可以使用的多线切割机问世。其中主要以机械结构为主,拉线张力控制赛用磁粉离合器,张力调节使用带减速器的交流电机,还配有庞大的齿轮减速箱和链条齿轮传输机结构,工作台驱动依靠砝码配重,电控主要是继电器和时间继电器。无论机构如何,但它毕竟是可以实用雏形多线切割机。此后1986-1987年是实验型的;1988-1990年是第二代。以后两三年都更新一代。今天市场上销售的已经是第九代第十代多线切割机。


多线机切割晶片的弯曲度(bow)小,翘曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好。总厚度公差小(TTV)小,片间切割损耗少,加工晶片表面损伤层浅,粗糙度小,切片加工出片率高,生产效率高,投资回报吕高。


因此,应用多线切割机是发展规模化生产和提高生产效率的必然选择,使用多线切割机加工各类晶片是必然趋势,特别适用于太阳能光伏电池超薄机基片的批量加工。


进入21世纪技术进步和科技发展,现代多线切割机科技含量已与21世纪80年代不能同日而语,今天的多线切割机已经集成了现代制造技术、工艺技术、现代控制技术、现代传感技术和新型材料,例如交流伺服电机及驱动系统、工业控制计算机、运动控制卡及总线系统、主轴油雾润滑冷却及间隙密封单元、恒定张力快速走线等。由于以上系统的择优选用,使现代多线切割机适用于大直径IC硅片光伏电池衬底超薄片,砷化镓、碳化硅、铌酸锂、光学玻璃等多种硬脆材料的切片加工。

发展历程

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